Электронная книга: Аскер Кушхов «Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы»
|
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Издательство: "МИСиС" (2012)
электронная книга Купить за 496 руб и скачать на Litres |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Ионно-плазменная обработка материалов | В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы | В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны | Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Элионная технология в микро- и наноиндустрии | В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга |
