Электронная книга: Аскер Кушхов «Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы»

Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы

В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.

Издательство: "МИСиС" (2012)

электронная книга

Купить за 496 руб и скачать на Litres

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Ионно-плазменная обработка материаловВ курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2008668электронная книга
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессыВ нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2007548электронная книга
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроныУчебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2012404электронная книга
Элионная технология в микро- и наноиндустрииВ учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2008588электронная книга

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»