Электронная книга: Аскер Кушхов «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальныхпромышленных установках.

Издательство: "МИСиС" (2007)

электронная книга

Купить за 548 руб и скачать на Litres

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Ионно-плазменная обработка материаловВ курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2008668электронная книга
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроныУчебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2012404электронная книга
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионыВ учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2012496электронная книга
Элионная технология в микро- и наноиндустрииВ учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2008588электронная книга

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»