Электронная книга: Аскер Кушхов «Ионно-плазменная обработка материалов»

Ионно-плазменная обработка материалов

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Издательство: "МИСиС" (2008)

электронная книга

Купить за 668 руб и скачать на Litres

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессыВ нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2007548электронная книга
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроныУчебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2012404электронная книга
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионыВ учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2012496электронная книга
Элионная технология в микро- и наноиндустрииВ учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2008588электронная книга

См. также в других словарях:

  • Магнетронное распыление — Магнетронное распыление  это технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью магнетрона. Основы технологии Принцип магнетронного распыления основан на образовании над поверхностью катода кольцеобразной плазмы в результате… …   Википедия

  • НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники …   Химическая энциклопедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»