Электронная книга: Аскер Кушхов «Ионно-плазменная обработка материалов»
|
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники. Издательство: "МИСиС" (2008)
электронная книга Купить за 668 руб и скачать на Litres |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы | В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны | Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы | В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Элионная технология в микро- и наноиндустрии | В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга |
См. также в других словарях:
Магнетронное распыление — Магнетронное распыление это технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью магнетрона. Основы технологии Принцип магнетронного распыления основан на образовании над поверхностью катода кольцеобразной плазмы в результате… … Википедия
НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники … Химическая энциклопедия
