Электронная книга: Аскер Кушхов «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»
|
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальныхпромышленных установках. Издательство: "МИСиС" (2007)
электронная книга Купить за 548 руб и скачать на Litres |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Ионно-плазменная обработка материалов | В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны | Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы | В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Элионная технология в микро- и наноиндустрии | В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга |
