Электронная книга: Л. А. Сейдман «Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии»

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Серия: "Мир материалов и технологий (Техносфера)"

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивномумагнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Издательство: "Техносфера" (2010)

ISBN: 978-5-94836-222-9

электронная книга

Купить за 399 руб и скачать на Litres

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталейКнига представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих… — Техносфера, электронная книга Подробнее...2012349электронная книга
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылениемКнига представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок… — Техносфера, Мир материалов и технологий (Техносфера) электронная книга Подробнее...2014349электронная книга

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»