Электронная книга: Л. А. Сейдман «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением»

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Серия: "Мир материалов и технологий (Техносфера)"

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии,совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Издательство: "Техносфера" (2014)

ISBN: 978-5-94836-369-1

электронная книга

Купить за 349 руб и скачать на Litres

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталейКнига представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической… — Техносфера, электронная книга Подробнее...2012349электронная книга
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологииНастоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным… — Техносфера, Мир материалов и технологий (Техносфера) электронная книга Подробнее...2010399электронная книга

См. также в других словарях:

  • Любовь и тайны Сансет Бич — Sunset Beach …   Википедия

  • Pilot (Хор) — «Хор» Пилот …   Википедия

  • Грехи отцов (телесериал) — Грехи отцов Жанр историческая мелодрама В главных ролях Дмитрий Исаев Екатерина Климова Страна …   Википедия

  • 21st Century Breakdown — Студийный альбом Green Day Дата выпуска 15 мая 2009 Записан 2008– …   Википедия

  • Грехи отцов — Проверить нейтральность. На странице обсуждения должны быть подробности …   Википедия

  • Страх (фильм, 2004) — У этого термина существуют и другие значения, см. Страх (значения). Страх The Hazing …   Википедия

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»