Книга: Киреев Валерий Юрьевич «Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство»

Производитель: "Интеллект"

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 `Нанотехнология в электронике`, 210104 `Микроэлектроника и твердотельная электроника`, 222900 `Нанотехнология и микросистемная техника`, 210600 `Нанотехнология`, 210100 `Электронное машиностроение`, а также для инженеров и научных работников.

Издательство: "Интеллект" (2016)

Формат: 60x90/16, 320 стр.

ISBN: 978-5-91559-215-4

Купить за 2176 грн (только Украина) в