Книга: Киреев Валерий Юрьевич «Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование»
|
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104" Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900" Нанотехнология и микросистемная техника", 210600" Нанотехнология", 210100" Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников. Издательство: "ИД Интеллект" (2016)
ISBN: 978-5-91559-215-4 Купить за 1699 руб в Лабиринте |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство | В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей… — Интеллект, (формат: 60x90/16, 320 стр.) Подробнее... | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Лауреаты премии Ленинского комсомола в области науки и техники — Содержание 1 1970 2 1972 3 1974 4 1976 4.1 Премии за 1975 год … Википедия
Список награждённых медалью «За спасение погибавших», 1998 год — Приложение к статье Медаль «За спасение погибавших» Содержание 1 Республика Адыгея … Википедия
Список народных депутатов РСФСР/РФ — Персональный состав Съезда народных депутатов РФ в алфавитном порядке А * Абабко, Анатолий Иванович * Абайдулин, Зиннур Закариянович * Абдулатипов, Рамазан Гаджимурадович * Абдулбасиров, Магомедтагир Меджидович * Абрамов, Иван Алексеевич *… … Википедия
Список игроков ФК «Крылья Советов» Самара — Футболисты выступавшие за клуб «Крылья Советов» Самара (бывший Куйбышев) в 1942 2012 годах. 615 игроков. Жирным шрифтом выделены футболисты сыгравшие более 100 матчей # А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р … Википедия
Список народных депутатов России — … Википедия
Чемпионат России по футболу 2008 (составы) — Содержание 1 Амкар (Пермь) 2 Динамо (Москва) 3 Зенит (Санкт Петербург) … Википедия
