Книга: В. Киреев, А. Столяров «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы»
|
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств инедостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов. Издательство: "Техносфера" (2006) Формат: 60x90/16, 192 стр.
ISBN: 5-94836-039-3 Купить за 151 руб на Озоне |
Другие книги схожей тематики:
| Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|---|
| Киреев В.Ю. | Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы | Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — Техносфера, Мир электроники Подробнее... | 2006 | 127 | бумажная книга |
| Валерий Киреев | Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы | От издателя:Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — (формат: 60x90/16 (145х215 мм), 192стр. стр.) Подробнее... | 2006 | 55 | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Кубок СССР по футболу 1937 — Второй розыгрыш Кубка СССР состоялся в мае июле 1937 года. Обладателем Кубка стало московское «Динамо». Предыдущий обладатель Кубка московский «Локомотив» уступил новому обладателю в полуфинале. Розыгрыш кубка СССР 1937 года проходил… … Википедия
ФК «Металлург» (Сталинград) в сезоне 1937 — «Металлург» Общая информация … Википедия
Лауреаты Сталинской премии за выдающиеся изобретения и коренные усовершенствования методов производственной работы — Сталинская премия за выдающиеся изобретения и коренные усовершенствования методов производственной работы форма поощрения граждан СССР за значительные заслуги в техническом развитии советской индустрии, разработки новых технологий, модернизации… … Википедия
КОГДА РАСХОДИТСЯ ТУМАН — «КОГДА РАСХОДИТСЯ ТУМАН», СССР, МОСФИЛЬМ, 1970, цв., 100 мин. Киноповесть. По мотивам одноименной повести А.Клещенко. Однажды Петр Дьконов, инспектор рыбнадзора Байкала, задерживает высокое начальство на незаконном промысле. После увольнения… … Энциклопедия кино
Чемпионат СССР по футболу 1936 (осень, группа «А») — Второй чемпионат СССР по футболу был разыгран с 5 сентября по 30 октября 1936 года. По итогам весеннего чемпионата предусматривался переходный матч между аутсайдером группы «А» («Красная заря» Ленинград) и победителем группы «Б» «Динамо» Тбилиси … Википедия
Кубок СССР по футболу 1936 — Первый розыгрыш Кубка СССР состоялся в июле августе 1936 года. Обладателем Кубка стал московский «Локомотив». Участвовало 94 команды 28 команд мастеров и 66 команд коллективов физкультуры. Содержание 1 1/64 финала 1.1 1 я переигровка … Википедия
