Книга: Киреев В.Ю. «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы»
|
Серия: "Мир электроники" Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств инедостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям ВУЗов. Издательство: "Техносфера" (2006)
ISBN: 5-94836-039-3 Купить за 127 руб в My-shop |
Другие книги схожей тематики:
| Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|---|
| В. Киреев, А. Столяров | Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы | Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — Техносфера, (формат: 60x90/16, 192 стр.) Подробнее... | 2006 | 151 | бумажная книга |
| Валерий Киреев | Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы | От издателя:Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — (формат: 60x90/16 (145х215 мм), 192стр. стр.) Подробнее... | 2006 | 55 | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Киреев — КИРЕЕВСКИЙ Кирей производная форма имени Кирилл (с греческого маленький господин). В старину рассеянных дразнили; Эх ты, Кирей, не нашел дверей . (Ф) См. Кириллов Читатель из Тулы просит объяснить фамилию, которую носила его мать, ее предком был… … Русские фамилии
КИРЕЕВ — Руслан Тимофеевич (родился в 1941), русский писатель. В романах Победитель , Апология (оба 1980), Подготовительная тетрадь (1981) иронически осмыслен тип современного делового человека (антигероя). Поиски путей конкретного воплощения нравственных … Современная энциклопедия
КИРЕЕВ — Руслан Тимофеевич (род. 1941), русский писатель. В романах Победитель , Апология (оба 1980), Подготовительная тетрадь (1981) иронически осмыслен тип антигероя современного делового человека. Поиски путей конкретного воплощения нравственных… … Русская история
Киреев — Киреев, Иван Алексеевич … Морской биографический словарь
Киреев — (ж. р. ед. ч. Киреева; башк. Кирәев) татарская, башкирская и русская дворянская фамилия (см. Киреевы), а также топоним. Фамилия Киреев, Александр Алексеевич (1838 1910) русский генерал от кавалерии, публицист. Киреев, Александр… … Википедия
Киреев Н. П. — Николай Петрович Киреев (1843 1882) русский актёр и драматург. Закончил Константиновское военное училище. Был адъютантом начальника штаба стрелковых батальонов, герцога Мекленбург Стрелицкого; но скоро влечение к сцене пересилило, и Киреев… … Википедия
