Книга: Галперин В., Данилкин Е., Мочалов А. «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях Учебное пособие»
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.. Формат: Твердая бумажная, 283 стр.
ISBN: 9785996300327 |
Другие книги схожей тематики:
Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
---|---|---|---|---|---|
Галперин В.А. | Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие | В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы… — Бином. Лаборатория знаний, Нанотехнологии Подробнее... | 2018 | 316 | бумажная книга |
Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович | Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие | В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы… — Бином. Лаборатория знаний, Нанотехнологии Подробнее... | 2018 | 521 | бумажная книга |
Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович | Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие | В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы… — Бином. Лаборатория знаний, (формат: 60x90/16, 283 стр.) Нанотехнологии Подробнее... | 2012 | 409 | бумажная книга |