Книга: Галперин В.А. «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие»
|
Серия: "Нанотехнологии" В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Издательство: "Бином. Лаборатория знаний" (2018)
ISBN: 978-5-9963-0032-7 Купить за 316 руб в My-shop |
Другие книги схожей тематики:
| Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|---|
| Галперин В., Данилкин Е., Мочалов А. | Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях Учебное пособие | В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы… — (формат: Твердая бумажная, 283 стр.) Подробнее... | 2015 | 382 | бумажная книга |
| Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович | Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие | В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы… — Бином. Лаборатория знаний, Нанотехнологии Подробнее... | 2018 | 521 | бумажная книга |
| Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович | Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие | В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы… — Бином. Лаборатория знаний, (формат: 60x90/16, 283 стр.) Нанотехнологии Подробнее... | 2012 | 409 | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Ионатан Ратош — (יונתן רטוש) израильский поэт. Настоящее имя Ратоша было Уриел Шелах (אוריאל שלח) или Уриел Галперин (אוריאל הלפרין). Ратош родился в Российской империи в 1908 в сионистской семье. Его отец, Иехиел, был глубоким знатоком еврейской культуры и… … Википедия
Ратош, Ионатан — В этой статье не хватает ссылок на источники информации. Информация должна быть проверяема, иначе она может быть поставлена под сомнение и удалена. Вы можете … Википедия
Ратош — Ратош, Ионатан Ионатан Ратош (יונתן רטוש) израильский поэт. Настоящее имя Ратоша было Уриел Шелах (אוריאל שלח) или Уриел Галперин (אוריאל הלפרין). Ратош родился в Российской империи в 1908 в сионистской семье. Его отец, Иехиел, был глубоким … Википедия
Парусный спорт на летних Олимпийских играх 1960 — года Соревнования по парусному спорту на XVII летних Олимпийских играх в Риме, Италия проводились в пяти дисциплинах. Все дисциплины были открытыми (женщины могли выступать наравне с мужчинами). Соревнования по парусному спорту проводились с 29… … Википедия
Олимпия (баскетбольный клуб — Олимпия (баскетбольный клуб, Любляна) Олимпия Играет в Евролига, Адриатическая лига, Словенская Premier A Основан 1946 История Олимпия … Википедия
