Книга: Родионов Юрий Анатольевич «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие»
|
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов полученияслоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11. 00. 00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. Издательство: "Инфра-Инженерия" (2019)
ISBN: 978-5-9729-0337-5 Купить за 1343 руб в Лабиринте |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Основы микросенсорики. Учебное пособие | Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная… — Инфра-Инженерия, Подробнее... | бумажная книга | ||
| Основы микросенсорики. Учебное пособие | Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная… — Инфра-Инженерия, (формат: 218x154x20мм, 288 стр.) Подробнее... | бумажная книга | ||
| Основы микросенсорики. Учебное пособие. Гриф МО Республики Беларусь | Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная… — Инфра-Инженерия, - Подробнее... | бумажная книга | ||
| Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие | Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание… — Инфра-Инженерия, (формат: 215x152x22мм, 352 стр.) Подробнее... | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Нанотехнология — (Nanotechnology) Содержание Содержание 1. Определения и терминология 2. : история возникновения и развития 3. Фундаментальные положения Сканирующая зондовая микроскопия Наноматериалы Наночастицы Самоорганизация наночастиц Проблема образования… … Энциклопедия инвестора
