Книга: Цветков Ю.Б. «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2»

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Серия: "-"

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ имени Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям&# 171;Электроника и наноэлектроника&# 187;и&# 171;Наноинженерия&# 187;.

Издательство: "Московский Государственный Технический Университет (МГТУ) имени Н.Э. Баумана" (2019)

ISBN: 978-5-7038-4864-7

Купить за 1010 руб в My-shop

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных… — Московский Государственный Технический Университет (МГТУ) имени Н.Э. Баумана, Подробнее...20191089бумажная книга

См. также в других словарях:

  • Цветков — русская и (Цветков ) болгарская фамилия. В семинарском варианте переводилась на латынь как Флоренский, Флоридов, Флоринский. Цветков, Александр: Цветков, Александр Кристев (1914 1990) болгарский шахматист. Цветков, Александр Александрович (1840… …   Википедия

  • Цветков А. П. — Алексей Цветков Дата рождения: 2 февраля 1947(19470202) Место рождения: Станислав Род деятельности: поэт, прозаик, переводчик Премии …   Википедия

  • ЦВЕТКОВ — 1. ЦВЕТКОВ Валентин Иванович (род. 1948), губернатор Магаданской области с 1996. Работал генеральным директором государственного предприятия Магаданнеруд . 2. ЦВЕТКОВ Виктор Николаевич (род. 1910), физикохимик, член корреспондент РАН (1968).… …   Русская история

  • Цветков — ЦВЕТАЕВ ЦВЕТКОВ ЦВЕТКОВСКИЙ ЦВЕТОВ Эти фамилии были излюблены духовенством, так как напоминали о цветении, преуспевании. Часто присваивались семинаристам.(Ф). Фамилия Цветаев могла быть образована от прозвища на ай: Цветай процветающий (Э)..… …   Русские фамилии

  • Цветков А. — Александр Александрович Цветков (умер в 1892 г.) писатель, воспитанник Санкт Петербургской духовной академии; был преподавателем словесности в 7 й Спб. гимназии и в Мариинском институте. Издания «Образцы древней русской словесности» (СПб., 1879); …   Википедия

  • Цветков А. А. — Александр Александрович Цветков (умер в 1892 г.) писатель, воспитанник Санкт Петербургской духовной академии; был преподавателем словесности в 7 й Спб. гимназии и в Мариинском институте. Издания «Образцы древней русской словесности» (СПб., 1879); …   Википедия

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»