Электронная книга: Игорь Житяев «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии»
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». Издательство: "Южный Федеральный Университет"
ISBN: 9785927523955 электронная книга Купить за 125 руб и скачать на Litres |
Другие книги схожей тематики:
Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
---|