Книга: Хорин И. «Технологии электронной компонентной базы Учебное пособие»

Технологии электронной компонентной базы Учебное пособие

В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяетсяполучению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11. 03. 04 «Электроника и наноэлектроника»...

Формат: Твердая глянцевая, 280 стр.

ISBN: 9785448602108

Купить за 1848 руб в


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»