Книга: Берлин Е.В. «Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения»
|
Серия: "-" За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлениемтрехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в нейобзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций. Издательство: "Техносфера" (2018)
ISBN: 978-5-94836-519-0 Купить за 775 руб в My-shop |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения | За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое… — Техносфера, (формат: 170x240, 464 стр.) Подробнее... | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Берлин — столица Германии. Упоминается с XIII в. как Berlin. По наиболее убедительной гипотезе, название от др, слав. *birl / *berl топь, болото . Существуют также объяснения из личного имени Берла и др. из кельт, и слав, языков. Географические названия… … Географическая энциклопедия
Берлин — для россиян и народов стран СНГ особый город. Здесь в мае 1945 г., после самой кровопролитной войны в истории, был повержен фашизм,… … Города мира
Берлин — Берлин. Трептов парк. БЕРЛИН, столица (в 1871 1945 и с 1990) Германии. 3,4 млн. жителей. Расположен при впадении реки Шпрее в реку Хафель, на судоходных каналах, связывающих Берлин с реками Эльба и Одер. Международные аэропорты. Метрополитен.… … Иллюстрированный энциклопедический словарь
Берлин — (Berlin), столица Германии в 1871 1945. Берлин образовался из двух поселений начала XIII в., в 1307 слившихся в один город. Сохранил отдельные черты средневековой радиально кольцевой планировки с немногочисленными готическими зданиями… … Художественная энциклопедия
БЕРЛИН — БЕРЛИН (Berlin) Исайя, также Исайя Мевделевич (6 июня 1909, Рига 5 ноября 1997, Оксфорд) британский философ, теоретик либерализма, историк идей. Родился в еврейской семье; в 1920 вместе с семьей эмигрировал в Великобританию. Окончил школу св … Философская энциклопедия
берлин — БЕРЛИН, БЕРЛИНА ы, ж. berline, нем. Berlin. 1. Старинная двухместная карета. Михельсон 1883. Кроме извозчиков, которые нам три раза попадались, и старомодных берлинов, нам не встречались никакие прохожие. Карамзин. Взяв из конюшни лошадей,… … Исторический словарь галлицизмов русского языка
