Книга: «Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология»
![]() |
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменногонано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей. Издательство: "Наука" (2018)
ISBN: 978-5-02-040089-4 Купить за 831 руб в Лабиринте |
Другие книги схожей тематики:
Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
---|---|---|---|---|---|
Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология | Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные… — Наука, Подробнее... | 2018 | 1057 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование | Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых… — Наука, (формат: 70x100/16, 250 стр.) Подробнее... | 2008 | 546 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование | Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых… — Наука, (формат: 70x100/16, 250 стр.) Подробнее... | 2008 | 551 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Том 20. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование | Сборник, посвященный 20-летию Физико-технологического института РАН, включает в себя статьи по актуальным… — Наука, (формат: 70x100/16, 176 стр.) Подробнее... | 2009 | 643 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Том 20. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика | Сборник, посвященный 20-летию Физико-технологического института РАН, включает в себя статьи по актуальным… — Наука, Подробнее... | 2009 | 508 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Том 20. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование | Сборник, посвященный 20-летию Физико-технологического института РАН, включает в себя статьи по актуальным… — Наука, (формат: 70x100/16, 176 стр.) Подробнее... | 2009 | 509 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование. Том 25 | Очередной том Трудов Физико-технологического института РАН посвящен актуальным проблемам квантовой… — Наука, - Подробнее... | 2016 | 773 | бумажная книга | |
Труды ФТИАН. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование. Том 25 | Очередной том Трудов Физико-технологического института РАН посвящен актуальным проблемам квантовой… — Наука, Подробнее... | 2016 | 1000 | бумажная книга | |
Квантовые компьютеры, микро-и наноэлектроника: физика, технология, диагностика. Труды ФТИАН. Том 25 | Очередной том Трудов Физико-технологического института РАН посвящен актуальным проблемам квантовой… — Наука, Подробнее... | 2016 | 773 | бумажная книга |