Электронная книга: С. Ю. Юрчук «Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами»
|
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены моделиотдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываютсяна процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, которыйвносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника». Издательство: "МИСиС" (2013)
электронная книга Купить за 160 руб и скачать на Litres |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Моделирование полупроводниковых приборов | Данный курс лекций является частью курса “Моделирование технологических процессов”. В нем приведены… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Основы математического моделирования | В учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Полупроводниковые оптоэлектронные приборы | Лабораторный практикум включает описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Основы математического моделирования | В учебном пособии рассматриваются методы решения задач линейных и нелинейных уравнений, методы теории… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Приборы квантовой и оптической электроники | Лекции включают описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых приборов… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование наносистем методами молекулярной динамики | Цель курса лекций – ознакомить студентов с методами моделирования процессов выращивания наноструктур… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Полупроводниковые оптоэлектроппые приборы | Приведено описание нринцинов работы основных онтоэлектронных нолунроводниковых приборов: фоторезисторов… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Методы математического моделирования. Учебное пособие | Изложены основные методы численного моделирования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга |
См. также в других словарях:
Юрчук — ЮХНИН ЮХОВ ЮХНЕВ ЮРАН ЮРАНОВ ЮРАСОВ ЮРЕВИЧ ЮРЕНЕВ ЮРЕНИН ЮРИВЦЕВ ЮРИКОВ ЮРИН ЮРИНОВ ЮРИНСКИЙ ЮРКЕВИЧ ЮРКИН ЮРКОВ ЮРКОВЕЦ ЮРЛИН ЮРЛОВ ЮРМАНОВ ЮРОВСКИЙ ЮРОЧКИН ЮРУХИН ЮРЦЕВ ЮРЧЕНКО ЮРЧУК ЮРШЕВ ЮРЫЧЕВ ЮРЫШЕВ ЮРЬЕВ ЮРЫГИН ЮРЬИЧЕВ ЮРЯЕВ ЮРЯТИН … Русские фамилии
Юрчук — прізвище * Жіночі прізвища цього типу як в однині, так і в множині не змінюються … Орфографічний словник української мови
Митрофан (Юрчук) — У этого термина существуют и другие значения, см. Митрофан. Архиепископ Митрофан … Википедия
Александр (Драбинко) — Архиепископ Александр Архиєпископ Олександр … Википедия
Список епископов Украинской православной церкви (Московского патриархата) — Архиереи размещаются по старшинству. В скобках указывается дата епископской хиротонии (посвящения). Содержание 1 Нынешние архиереи 1.1 Предстоятель 1.2 Правящие … Википедия
Украинская Советская Социалистическая Республика — УССР (Украïнська Радянська Социалicтична Республika), Украина (Украïна). I. Общие сведения УССР образована 25 декабря 1917. С созданием Союза ССР 30 декабря 1922 вошла в его состав как союзная республика. Расположена на… … Большая советская энциклопедия
