Электронная книга: С. Ю. Юрчук «Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами»
|
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены моделиотдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываютсяна процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, которыйвносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника». Издательство: "МИСиС" (2013)
электронная книга Купить за 160 руб и скачать на Litres |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Моделирование полупроводниковых приборов | Данный курс лекций является частью курса “Моделирование технологических процессов”. В нем приведены основные уравнения, описывающие работу полупроводниковых приборов, и основные подходы к их решению… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Основы математического моделирования | В учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Полупроводниковые оптоэлектронные приборы | Лабораторный практикум включает описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых приборов: фоторезисторов, фотодиодов, фототранзисторов, оптронов и др. Представлены схемы… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Основы математического моделирования | В учебном пособии рассматриваются методы решения задач линейных и нелинейных уравнений, методы теории приближения функций, численное дифференцирование и интегрирование, решение обыкновенных… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Приборы квантовой и оптической электроники | Лекции включают описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых приборов: фоторезисторов, фотодиодов, фототранзисторов, оптронов и лазеров. Рассмотрены параметры и характеристики… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование наносистем методами молекулярной динамики | Цель курса лекций – ознакомить студентов с методами моделирования процессов выращивания наноструктур. Даны основные представления о методе Монте-Карло, основанном на выборе случайных процессов… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Полупроводниковые оптоэлектроппые приборы | Приведено описание нринцинов работы основных онтоэлектронных нолунроводниковых приборов: фоторезисторов, фотодиодов, фототранзисторов, оптронов и др. Рассмотрены параметры и характеристики… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга | ||
| Методы математического моделирования. Учебное пособие | Изложены основные методы численного моделирования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники, основанные на решении фундаментальной системы уравнений:Пуассона, непрерывности и переноса… — МИСиС, электронная книга Подробнее... | электронная книга |
