Электронная книга: С. Ю. Юрчук «Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами»

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами

Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены моделиотдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываютсяна процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, которыйвносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».

Издательство: "МИСиС" (2013)

электронная книга

Купить за 160 руб и скачать на Litres

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Моделирование полупроводниковых приборовДанный курс лекций является частью курса “Моделирование технологических процессов”. В нем приведены основные уравнения, описывающие работу полупроводниковых приборов, и основные подходы к их решению… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2001404электронная книга
Основы математического моделированияВ учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2014224электронная книга
Полупроводниковые оптоэлектронные приборыЛабораторный практикум включает описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых приборов: фоторезисторов, фотодиодов, фототранзисторов, оптронов и др. Представлены схемы… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2006276электронная книга
Основы математического моделированияВ учебном пособии рассматриваются методы решения задач линейных и нелинейных уравнений, методы теории приближения функций, численное дифференцирование и интегрирование, решение обыкновенных… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2009368электронная книга
Приборы квантовой и оптической электроникиЛекции включают описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых приборов: фоторезисторов, фотодиодов, фототранзисторов, оптронов и лазеров. Рассмотрены параметры и характеристики… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2016256электронная книга
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование наносистем методами молекулярной динамикиЦель курса лекций – ознакомить студентов с методами моделирования процессов выращивания наноструктур. Даны основные представления о методе Монте-Карло, основанном на выборе случайных процессов… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2013160электронная книга
Полупроводниковые оптоэлектроппые приборыПриведено описание нринцинов работы основных онтоэлектронных нолунроводниковых приборов: фоторезисторов, фотодиодов, фототранзисторов, оптронов и др. Рассмотрены параметры и характеристики… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2004444электронная книга
Методы математического моделирования. Учебное пособиеИзложены основные методы численного моделирования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники, основанные на решении фундаментальной системы уравнений:Пуассона, непрерывности и переноса… — МИСиС, электронная книга Подробнее...2018392электронная книга

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»