Книга: Хмельницкий Роман Абрамович, Талипов Нияз Хатимович, Чучева Галина Викторовна «Синтетический алмаз для электроники и оптики»

В книге изложены современное состояние, возможности и перспективы использования алмаза в различных областях электроники, оптики и техники. Представлено обобщениеопыта существующих и перспективных технических решений по созданию алмазных полупроводниковых пленок, технологии выращивания высококачественных, высокочистыхалмазных монокристаллических пленок, их легирования и получения наноструктур. Описаны электрофизические и фотоэлектрические свойства таких структур. В связи с тем, что основное внимание уделено получению алмазных полупроводниковых пленок методом химического осаждения из газовой фазы (CVD-метод), приведены сведения об основных типах СВЧ реакторов и об организациях (научных группах), работающих на переднем крае технологии и исследований CVD-алмаза. Отмечается уникальность свойств алмаза но сравнению с другими полупроводниковыми материалами для разработки и создания перспективных электронных приборов. Обсуждается основная проблема внедрения алмаза в современные электронику и оптику - отсутствие монокристаллического алмаза в виде пластин большого размера, пригодных для технологии фотолитографии, а также пути ее решения. Книга предназначена для ученых, технологов и инженеров, работающих над созданием оптоэлектронных приборов и устройств полупроводниковой электроники на основе алмаза. Может быть полезна преподавателям, аспирантам и студентам технических вузов, исследователям, инженерам и разработчикам.

Издательство: "Икар" (2017)

ISBN: 978-5-7974-0558-0

Купить за 582 руб в Лабиринте