Книга: Громов Дмирий Геннадьевич, Мочалов Алексей Иванович, Сулимин Александр Дмитриевич «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие»
|
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области. Издательство: "Бином. Лаборатория знаний" (2014)
ISBN: 978-5-94774-904-5 |
См. также в других словарях:
Лауреаты Ленинской премии — Медаль лауреата Ленинской Премии Лауреаты Ленинской премии Данный список является неполным. Ленинская премия ежегодно присуждалась 22 апреля, в день рождения … Википедия
