Книга: Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие»

Серия: "Нанотехнологии"

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Издательство: "Бином. Лаборатория знаний" (2018)

ISBN: 978-5-9963-0032-7

Купить за 521 руб в Лабиринте