Книга: Киреев В. «Нанотехнологии в микроэлектронике Нанолитография - процессы и оборудование»
|
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104" Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900" Нанотехнология и микросистемная техника", 210600" Нанотехнология", 210100" Электронное машиностроение", а также для... Формат: Твердая глянцевая, 320 стр.
ISBN: 9785915592154 |
Другие книги автора:
| Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|---|---|---|---|
| Финансовая политика фирмы Учебное пособие | Рассматриваются различные бизнес-стратегии, способствующие улучшению финансового состояния предприятия… — (формат: Твердая глянцевая, 160 стр.) Подробнее... | бумажная книга |
См. также в других словарях:
Киреев — КИРЕЕВСКИЙ Кирей производная форма имени Кирилл (с греческого маленький господин). В старину рассеянных дразнили; Эх ты, Кирей, не нашел дверей . (Ф) См. Кириллов Читатель из Тулы просит объяснить фамилию, которую носила его мать, ее предком был… … Русские фамилии
КИРЕЕВ — Руслан Тимофеевич (родился в 1941), русский писатель. В романах Победитель , Апология (оба 1980), Подготовительная тетрадь (1981) иронически осмыслен тип современного делового человека (антигероя). Поиски путей конкретного воплощения нравственных … Современная энциклопедия
КИРЕЕВ — Руслан Тимофеевич (род. 1941), русский писатель. В романах Победитель , Апология (оба 1980), Подготовительная тетрадь (1981) иронически осмыслен тип антигероя современного делового человека. Поиски путей конкретного воплощения нравственных… … Русская история
Киреев — Киреев, Иван Алексеевич … Морской биографический словарь
Киреев — (ж. р. ед. ч. Киреева; башк. Кирәев) татарская, башкирская и русская дворянская фамилия (см. Киреевы), а также топоним. Фамилия Киреев, Александр Алексеевич (1838 1910) русский генерал от кавалерии, публицист. Киреев, Александр… … Википедия
Киреев Н. П. — Николай Петрович Киреев (1843 1882) русский актёр и драматург. Закончил Константиновское военное училище. Был адъютантом начальника штаба стрелковых батальонов, герцога Мекленбург Стрелицкого; но скоро влечение к сцене пересилило, и Киреев… … Википедия
