Книга: Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие»

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие

Производитель: "Техносфера"

Серия: "Мир материалов и технологий"

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Издательство: "Техносфера" (2014)

Формат: 70x100/16, 256 стр.

ISBN: 978-5-94836-369-1

Купить за 357 грн (только Украина) в

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылениемКнига представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок… — Техносфера, (формат: 70x100/16, 260 стр.) Мир материалов и технологий Подробнее...2014594бумажная книга

См. также в других словарях:

  • техносфера — техносфера …   Орфографический словарь-справочник

  • ТЕХНОСФЕРА —         область действительности, для к рой характерно применение техники. В более узком смысле понятие Т., появившееся в 40 50 е гг. в работах заруб, сайентологов и социологов техники как отклик на НТР, употребляется при характеристике совр.… …   Энциклопедия культурологии

  • техносфера — сущ., кол во синонимов: 1 • сфера (36) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 …   Словарь синонимов

  • Техносфера — см. Техногенная сфера. EdwART. Словарь терминов МЧС, 2010 …   Словарь черезвычайных ситуаций

  • ТЕХНОСФЕРА — (от греч. techne искусство, мастерство и sphaira шар, сфера), 1) часть биосферы, преобразованная людьми с помощью прямого и косвенного воздействия технических средств (научно технической революции) в целях наилучшего соответствия социально… …   Экологический словарь

  • Техносфера — Техносфера: часть биосферы, коренным образом преобразованная человеком в технические и техногенные объекты (ресурсы, здания, дороги, механизмы, сооружения и др.), становящиеся частью ноосферы с целью удовлетворения социально экономических… …   Официальная терминология

  • техносфера — Часть биосферы, коренным образом преобразованная человеком в технические и техногенные объекты (ресурсы, здания, дороги, механизмы, сооружения и др.), становящиеся частью ноосферы с целью удовлетворения социально экономических потребностей. [ГОСТ …   Справочник технического переводчика

  • техносфера — Окружающая среда, отдельные элементы которой сильно изменены хозяйственной деятельностью людей. Syn.: антропогенная среда …   Словарь по географии

  • техносфера — 3.41 техносфера: Область распространения техники, определяемая потребностями социума. Источник …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • ТЕХНОСФЕРА — – совокупность всех функционирующих и старых, недействующих технических объектов и всех продуктов их деятельности, возникших на Земле и в космосе. К продуктам деятельности относятся изменения химического состава воды, почвы и атмосферы; изменения …   Философия науки и техники: тематический словарь

  • ТЕХНОСФЕРА — ы; ж. [от сл. техно... и sphaira шар] Часть биосферы, преобразованная с помощью технических средств в социально экономических целях. Расширение зоны техносферы. Т. человечества. * * * ТЕХНОСФЕРА ТЕХНОСФЕРА (от греч. techne искусство, ремесло,… …   Энциклопедический словарь


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»