Книга: Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович «Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение»

Производитель: "Физматлит"

Серия: "Фундаментальная и прикладная физика"

В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемыхпараметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих... ISBN:978-5-9221-1406-6

Издательство: "Физматлит" (2013)

Формат: 60x90/16, 216 стр.

ISBN: 978-5-9221-1406-6

Купить за 823 грн (только Украина) в