Книга: Р. А. Гаврилов, А. М. Скворцов «Технология производства полупроводниковых приборов»

Технология производства полупроводниковых приборов

В книге рассматриваются основные технологические процессы, используемые в производстве полупроводниковых приборов и полу­проводниковых интегральных схем. Наибольшее внимание уделено процессам вплавления-рекристаллизации и диффузии, в результате проведения которых образуется электронно-дырочный переход. Пленарной технологии, которая в последнее время стала ши­роко применяться как для изготовления различных типов крем­ниевых диодов и транзисторов, так и полупроводниковых инте­гральных схем, посвящена вторая часть книги. Здесь основное внимание уделено фотолитографии и получению пассивирующих слоев двуокиси кремния на кремнии, а также рассмотрены прин­ципы построения интегральных схем на основе полевых транзисто­ров типа металл - окисел - полупроводник. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, за­нимающихся конструированием и производством полупроводнико­вых приборов и интегральных схем. Она будет полезна также сту­дентам высших учебных заведений,...

Издательство: "Энергия" (1968)

Формат: 60x90/16, 240 стр.

Купить за 123 руб на Озоне

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Основы физики полупроводниковНастоящее учебное пособие написано в соответствии с утвержденной программой курса "Полупроводники и… — Машиностроение, (формат: 60x90/16, 288 стр.) Подробнее...1966160бумажная книга

См. также в других словарях:

  • Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог …   Википедия

  • ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… …   Химическая энциклопедия

  • Автоматизация производства —         процесс в развитии машинного производства, при котором функции управления и контроля, ранее выполнявшиеся человеком, передаются приборам и автоматическим устройствам. А. п. основа развития современной промышленности, генеральное… …   Большая советская энциклопедия

  • Травление —         в технике, растворение поверхности твёрдых тел с практической целью (в отличие от коррозии (См. Коррозия)). Различают Т. технологическое для обработки и изменения формы поверхности металлов, полупроводников, стекла, древесины и др.… …   Большая советская энциклопедия

  • Кобрин, Владимир Михайлович — У этого термина существуют и другие значения, см. Владимир Кобрин. Стиль этой статьи неэнциклопедичен или нарушает нормы русского языка. Статью следует исправить согласно стилистическим правилам Википедии …   Википедия

  • Владимир Михайлович Кобрин — Дата рождения: 8 марта 1942 Место рождения: Москва Дата смерти: 7 декабря 1999 …   Википедия

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»