Книга: Колешко В. Ковалевский А. «Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике»

В книге сделан первый и пока единственный обзор практических и теоретических достижений в области создания и применения поликристаллических пленок кремния, германия, теллура, селена и соединений группы AIIIBV в микроэлектронике для изготовления полупроводниковых интегральных схем. Приведены данные по методам получения и кинетике роста, структуре, физическим и химическим свойствам поликристаллических пленок полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические методы стимулированияпроцессов получения тонких пленок с использованием электрического поля, лазерного излучения, электронного облучения, УФ- и СВЧ-полей, ультра- и гиперзвуковых упругих колебаний.

Издательство: "Наука и техника" (1978)

Формат: 60x90/16, 344 стр.

Купить за 270 руб на Озоне