Книга: В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков «Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник»

Серия: "Университеты России"

Серия "Университеты России" позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции. Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по...

Издательство: "Юрайт" (2016)

Формат: 60x90/16, 460 стр.

ISBN: 978-5-9916-7155-2

Купить за 1160 руб на Озоне