Книга: И. В. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков «Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник»

Серия: "Университеты России"

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающимся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.

Издательство: "Юрайт" (2016)

Формат: 60x90/16, 270 стр.

ISBN: 978-5-9916-7153-8

Купить за 752 руб на Озоне