Книга: «Проблемы физической химии поверхности полупроводников»

Книга посвящена анализу актуальных проблем физической химии поверхности полупроводников, включающих теорию поверхностных состояний, механизмы адсорбции и химических реакций растворения, окисления, фотоэлектро-химнческого травления. Рассматриваются механизм образования диэлектрических слоев Si0 2 при осаждении из газовойфазы, закономерности образования и природа электронных состояний в системах германий — и кремний — диэлектрик. Книга рассчитана на исследователей, работающих в области физики поверхности полупроводников, химии твердого тела, технологов, занимающихся разработкой полупроводниковых приборов, аспирантов и студентов старшихкурсов соответствующих специальностей.

Издательство: "Наука. Сибирское отделение" (1978)

Формат: 60x90/64, 288 стр.

Купить за 420 руб на Озоне