Книга: «Синтез и рост совершенных кристаллов и пленок полупроводников»

Книга содержит материалы исследований 1976-1978 гг. ведущих научных организаций СССР по проблеме получения полупроводниковых кристаллов и пленок. Основное внимание уделяется новым результатам по теории роста, росту пленок в вакууме из молекулярных и ионных пучков и из газовой фазы, механизмам роста и дефектам структуры кристаллов и пленок. Приведены новые данные о низкотемпературной эпитаксии и легировании полупроводниковых соединений, о напряжениях в гетероструктурах и переходных слоях пленка - подложка. Книга рассчитана на научных сотрудников и инженерно-технических работников, студентов и аспирантов, специализирующихся на полупроводниковомматериаловедении и микроэлектронике.

Издательство: "Наука" (1981)

Формат: 60x90/16, 264 стр.

Купить за 490 руб на Озоне