Книга: Александр Столяров,В. В. Киреев «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы»

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов...

Издательство: "Техносфера" (2006)

Формат: твердая обложка, 192 стр.

ISBN: 5-94836-039-3

Другие книги схожей тематики:

АвторКнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Киреев В.Ю.Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазыПроведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — Техносфера, Мир электроники Подробнее...2006
127бумажная книга
В. Киреев, А. СтоляровТехнологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазыПроведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — Техносфера, (формат: 60x90/16, 192 стр.) Подробнее...2006
151бумажная книга
Валерий КиреевТехнологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазыОт издателя:Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ)… — (формат: 60x90/16 (145х215 мм), 192стр. стр.) Подробнее...2006
55бумажная книга

См. также в других словарях:

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»