Книга: Р. Д. Иванов «Магнитные металлические пленки в микроэлектронике»

Рассмотрены основные этапы формирования металлических пленок. Достаточно подробно описаны основные методы нанесения пленок: вакуумное испарение, электролитическое осаждение, катодное распыление. Особое внимание уделено катодному распылению как наиболее перспективному методу создания магнитопленочных элементов БИС. Приведены магнитостатические, электрические структурные, механические свойства магнитных металлических пленок, а также режимы получения пленок для использования ихв технике. Показана степень старения магнитных пленок, полученных различными методами, и влияние отжига на деградацию свойств пленок. Указаны основные сферы применения магнитных металлических пленок в микроэлектронных устройствах как в качестве запоминающей среды, так и в качестве функциональных элементов ИС. Описана технология получения ИС на цилиндрических магнитных доменах для ЗУ. Книга рассчитана на специалистов, работающих в области пленочной микроэлектроники, а также на технологов,...

Издательство: "Советское радио" (1980)

Формат: 84x108/32, 192 стр.

Купить за 190 руб на Озоне