Электронная книга: Наталья Макушина «Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра»

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.

Издательство: "МГТУ им. Н.Э. Баумана" (2006)

ISBN: 5-7038-2926-7

электронная книга

Купить за 118 руб и скачать на Litres

Другие книги схожей тематики:

АвторКнигаОписаниеГодЦенаТип книги

См. также в других словарях:

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»