Электронная книга: Светлана Козубняк «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники»

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученныепри выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Издательство: "МГТУ им. Н.Э. Баумана" (2013)

ISBN: 978-5-7038-3729-0

электронная книга

Купить за 118 руб и скачать на Litres