Электронная книга: Дмитрий Духопельников «Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение»

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС.Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Издательство: "МГТУ им. Н.Э. Баумана" (2014)

ISBN: 978-5-7038-3798-6

электронная книга

Купить за 118 руб и скачать на Litres

Другие книги схожей тематики:

АвторКнигаОписаниеГодЦенаТип книги

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»