Электронная книга: Дмитрий Духопельников «Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение»
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС.Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС. Издательство: "МГТУ им. Н.Э. Баумана" (2014)
ISBN: 978-5-7038-3798-6 электронная книга Купить за 118 руб и скачать на Litres |
Другие книги схожей тематики:
Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
---|