Книга: Сергеев А. Г. «Нанометрология»
Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление нанометрологии в XX— XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям — поверке и калибровке. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов, введенных в 2008—2009 гг. Описаны организационные принципы нанометрологии, системы Гостехрегулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотехнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и указаны основные направления их исследований в данной области. Содержание:СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ...... 5 ВВЕДЕНИЕ...... 9 ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ 1. 1. Возникновение нанометрологии...... 15 1. 2. Нанометрология за рубежом...... 22 1. 3. Положение России в сфере наноиндустрии...... 26 1. 4. Концепция развития нанометрологии...... 34 ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ 2. 1. Методы и средства интерференционных измерений...... 42 2. 2. Использование принципов микроскопии в наноизмерениях...... 51 2. 3. Сканирующая зондовая микроскопия...... 75 2. 4. Разновидности ближнепольной микроскопии...... 112 2. 5. Спектроскопия в нанометрологии...... 125 2. 6. Хроматография в наноизмерениях...... 182 2. 7. Сравнительный анализ технических средств нанометрологии...... 197 ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ 3. 1. Основные положения...... 213 3. 2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур...... 216 3. 3. Точность измерения линейных наноразмеров...... 223 3. 4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера...... 230 3. 5. Нестабильность мощности излучения лазеров...... 236 3. 6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа...... 238 3. 7. Оценка расходимости лазерного излучения...... 240 3. 8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме...... 243 3. 9. Введение концепции неопределенности...... 248 3. 10. Погрешность и неопределенность...... 253 3. 11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей...... 257 3. 12. Пример вычисления погрешности эталона единицы длины (по данным ВНИИМ)...... 263 3. 13. Определение содержания элементов методами атомной спектроскопии по ГОСТ Р 51309-99...... 267 3. 14. Оценка неопределенности значений стандартных образцов...... 272 ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ 4. 1. Общие сведения...... 279 4. 2. Рельефные меры для нанометрового диапазона...... 290 4. 3. Измерительные растровые электронные микроскопы...... 312 4. 4. Атомно-силовые измерительные зондовые микроскопы...... 321 4. 5. Обеспечение единства измерений в лазерной технике, спектроскопии и хроматографии...... 334 ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ 5. 1. Основные положения...... 355 5. 2. Стандартизация и сертификация в наноиндустрии...... 364 5. 3. Цели и задачи регионального отделения ЦМО...... 368 5. 4. Управление деятельностью регионального отделения ЦМО...... 369 5. 5. Направления работ в области нанометрологии...... 376 5. 6. Организация исследований и кадровое обеспечение наноиндустрии...... 378 5. 7. Проблемы и задачи нанометрологии...... 386 ПРИЛОЖЕНИЕ...... 397 ЛИТЕРАТУРА...... 409 Издательство: "Логос" (2011)
ISBN: 9785987044940 |
Другие книги автора:
Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
---|---|---|---|---|
Сертификация | Изложены научно-технические, нормативно-методические и организационные основы сертификации продукции и… — Логос, Новая университетская библиотека Подробнее... | бумажная книга |
См. также в других словарях:
нанометрология — сущ., кол во синонимов: 1 • метрология (1) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 … Словарь синонимов
нанометрология — Nanometrology Нанометрология Раздел метрологии, изучающий способы измерения параметров объектов, линейные размеры которых лежат в пределах 0,1 – 100 нм … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
нанометр — Термин нанометр Термин на английском nanometer Синонимы Аббревиатуры нм, nm Связанные термины нано , нанодиапазон Определение одна миллиардная доля метра. Описание общепринятая единица измерений длины в области наноматериалов и нанотехнологий.… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Электронный микроскоп — (ЭМ) прибор, позволяющий получать изображение объектов с максимальным увеличением до 106 раз, благодаря использованию, в отличие от оптического микроскопа, вместо светового потока пучка электронов с энер … Википедия
Микроскоп электронный — Электронный микроскоп (ЭМ) микроскоп, отличающиийся возможностью получать сильно увеличенное изображение объектов, используя для их освещения электроны.[1] В отличие от оптического микроскопа, в электронном микроскопе используют потоки электронов … Википедия
Электронная микроскопия — Электронный микроскоп (ЭМ) микроскоп, отличающиийся возможностью получать сильно увеличенное изображение объектов, используя для их освещения электроны.[1] В отличие от оптического микроскопа, в электронном микроскопе используют потоки электронов … Википедия