Книга: «Машиностроение. Энциклопедия в 40 томах. Раздел 3. Технология производства машин. Том 3-8. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении»

Серия: "Машиностроение. Энциклопедия в 40 томах"

Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления. Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.

Издательство: "Машиностроение" (2000)

Формат: 70x100/16, 744 стр.

ISBN: 5-217-02825-4, 5-217-01949-2

Купить за 2300 руб на Озоне