Книга: Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев «Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС»

Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС

Рассмотрены проблемы образования и включения неконтролируемых примесей в структуру полупроводникового прибора. Дан подробный анализ и определены требования, выдвигаемые к исходным материалам, технологическим средам и оборудованию; подробно описаны основные технологические процессы и оборудование, используемые в субмикронной технологии. Впервые дана классификация и подробно рассмотрены различные дефекты, образующиеся в системе Si-SiO2 в процессе ее изготовления; проведен анализ известных методов геттерирования. С единой научной концепции, основанной на анализе структурно-примесных дефектов системы Si-SiO2, рассмотрена нестабильность электрических свойств структур металл (поликристаллический кремний) диоксид кремния - кремний, связанная с дрейфом ионов и забросом носителей заряда в слой окисленного кремния. Дан критический анализ известных способов стабилизации системы Si-SiO2, подробно рассмотрены наиболее перспективные, которые могут быть использованы в субмикронной технологии...

Издательство: "Микрон-Принт" (1999)

Формат: 150x210, 216 стр.

ISBN: 5-93497-001-1

Купить за 260 руб на Озоне

Другие книги схожей тематики:

АвторКнигаОписаниеГодЦенаТип книги

См. также в других словарях:

  • СССР. Технические науки —         Авиационная наука и техника          В дореволюционной России был построен ряд самолётов оригинальной конструкции. Свои самолёты создали (1909 1914) Я. М. Гаккель, Д. П. Григорович, В. А. Слесарев и др. Был построен 4 моторный самолёт… …   Большая советская энциклопедия

  • система — 4.48 система (system): Комбинация взаимодействующих элементов, организованных для достижения одной или нескольких поставленных целей. Примечание 1 Система может рассматриваться как продукт или предоставляемые им услуги. Примечание 2 На практике… …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • СССР. Естественные науки —         Математика          Научные исследования в области математики начали проводиться в России с 18 в., когда членами Петербургской АН стали Л. Эйлер, Д. Бернулли и другие западноевропейские учёные. По замыслу Петра I академики иностранцы… …   Большая советская энциклопедия

  • Промышленность — (Industry) История промышленности Основные отрасли промышленности в мире Содержание Содержание Раздел 1. История развития . Раздел 2. Классификация промышленности. Раздел 3. промышленности. Подраздел 1. Электроэнергетика. Подраздел 2. Топливная… …   Энциклопедия инвестора

  • Технологический процесс — (Process) Определение технологического процесса, типы технологического процесса Определение технологического процесса, типы технологического процесса, правила процесса Содержание Содержание Определение . Понятие технологического процесса Основные …   Энциклопедия инвестора

  • проба — 3.5 проба : По ГОСТ 25983. Источник: ГОСТ 31285 2005 …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»