Книга: Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев «Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС»
|
Рассмотрены проблемы образования и включения неконтролируемых примесей в структуру полупроводникового прибора. Дан подробный анализ и определены требования, выдвигаемые к исходным материалам, технологическим средам и оборудованию; подробно описаны основные технологические процессы и оборудование, используемые в субмикронной технологии. Впервые дана классификация и подробно рассмотрены различные дефекты, образующиеся в системе Si-SiO2 в процессе ее изготовления; проведен анализ известных методов геттерирования. С единой научной концепции, основанной на анализе структурно-примесных дефектов системы Si-SiO2, рассмотрена нестабильность электрических свойств структур металл (поликристаллический кремний) диоксид кремния - кремний, связанная с дрейфом ионов и забросом носителей заряда в слой окисленного кремния. Дан критический анализ известных способов стабилизации системы Si-SiO2, подробно рассмотрены наиболее перспективные, которые могут быть использованы в субмикронной технологии... Издательство: "Микрон-Принт" (1999) Формат: 150x210, 216 стр.
ISBN: 5-93497-001-1 Купить за 260 руб на Озоне |
Другие книги схожей тематики:
| Автор | Книга | Описание | Год | Цена | Тип книги |
|---|
См. также в других словарях:
СССР. Технические науки — Авиационная наука и техника В дореволюционной России был построен ряд самолётов оригинальной конструкции. Свои самолёты создали (1909 1914) Я. М. Гаккель, Д. П. Григорович, В. А. Слесарев и др. Был построен 4 моторный самолёт… … Большая советская энциклопедия
система — 4.48 система (system): Комбинация взаимодействующих элементов, организованных для достижения одной или нескольких поставленных целей. Примечание 1 Система может рассматриваться как продукт или предоставляемые им услуги. Примечание 2 На практике… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
СССР. Естественные науки — Математика Научные исследования в области математики начали проводиться в России с 18 в., когда членами Петербургской АН стали Л. Эйлер, Д. Бернулли и другие западноевропейские учёные. По замыслу Петра I академики иностранцы… … Большая советская энциклопедия
Промышленность — (Industry) История промышленности Основные отрасли промышленности в мире Содержание Содержание Раздел 1. История развития . Раздел 2. Классификация промышленности. Раздел 3. промышленности. Подраздел 1. Электроэнергетика. Подраздел 2. Топливная… … Энциклопедия инвестора
Технологический процесс — (Process) Определение технологического процесса, типы технологического процесса Определение технологического процесса, типы технологического процесса, правила процесса Содержание Содержание Определение . Понятие технологического процесса Основные … Энциклопедия инвестора
проба — 3.5 проба : По ГОСТ 25983. Источник: ГОСТ 31285 2005 … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
