Книга: С. А. Гаврилов, А. Н. Белов «Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие»

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Серия: "Высшее образование"

Книга посвящена научно-технологическим основам электро­химических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.

Издательство: "ДРОФА" (2014)

Формат: 60x90/16, 240 стр.

ISBN: 978-5-369-01299-4, 978-5-16-009298-0, 978-5-16-100019-9

Купить за 380 руб на Озоне

Другие книги автора:

КнигаОписаниеГодЦенаТип книги
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособиеИзложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые… — Юрайт, (формат: 84x108/32, 258 стр.) Профессиональное образование Подробнее...2014536бумажная книга
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособиеИзложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые… — ЮРАЙТ, (формат: 84x108/32, 258 стр.) Лазерная техника и технология Подробнее...2014768бумажная книга

См. также в других словарях:

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»