Книга: «Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов. Последние достижения»

В книге представлены доклады известных специалистов из разных стран на IV Международной конференции по моделированию полупроводниковых приборов и интегральных схем, проходившей в июне 1985 г. в г. Дублине. Рассматриваются вопросы моделирования электрофизических характеристик приборов и технологических процессов, применяемыхпри их изготовлении. Большое внимание уделено используемым численным методам и описанию пакетов прикладных программ. Широко представлены результаты двумерного моделирования различных полупроводниковых приборов, а также процессов диффузии и окисления. Наряду с традиционной диффузионно-дрейфовой моделью в ряде работ для анализа характеристик приборов используются гидродинамическая модель и метод частиц. Кратко затрагиваются вопросы схемотехнического анализа, моделирования литографии, травления, осаждения, ионной имплантации, воздействия светового и ионизирующего излучений. Для научных работников.

Издательство: "Радио и связь" (1989)

Формат: 60x90/16, 280 стр.

ISBN: 5-256-00228-7, 0-906783-45-3, 0-906783-43-7

Купить за 190 руб на Озоне