Книга: Корзо В. Ф., Черняев В. Н. «Диэлектрические пленки в микроэлектронике»

Серия: "Электронное материаловедение"

В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и эле­ментах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные тех­нологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические иэксплуатационные характеристики. Определены наиболее характерные особенности практического ис­пользования пленок некристаллических диэлектриков в различных ти­пах современных электронных устройств. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и применения диэлектрических материалов в пленочной электронике и смежных областях.

Издательство: "Энергия" (1977)

Формат: 84x108/32, 368 стр.

Купить за 280 руб на Озоне