Книга: И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб «Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем»

В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. Может быть использована инженерно-техническими работниками, специализирующимися в...

Издательство: "Политехника" (1991)

Формат: 60x90/16, 288 стр.

ISBN: 5-7325-0001-4

Купить за 100 руб на Озоне