Книга: А. Ю. Седаков, В. К. Смолин «Тонкопленочные элементы в микроэлектронике. Основы проектирования и изготовления»

Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивныхэлементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и индуктивностей); описаны основные технологические процессы формирования элементов плат МСБ и особенности технологических маршрутов изготовления плат с тонкопленочными элементами, вопросы контроля и обеспечения качества изготовленных элементов. Представленные в книге материалы, обобщающие результаты многолетних исследований, проведенных в рамках выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ вФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю. Е. Седакова", а также исследований отечественных и зарубежных авторов, опубликованных в периодической литературе, могут оказаться полезными вкачестве справочного...

Издательство: "Радиотехника" (2011)

Формат: 60x90/16, 168 стр.

ISBN: 978-5-88070-292-3

Купить за 799 руб на Озоне