Книга: Марина Липай «Введение в технологию 3D TSV интегральных схем»
|
Производитель: "LAP Lambert Academic Publishing" В данной работе были подобраны условия и составы растворов, удовлетворяющие всем требованиям, необходимым для получения нанометрических никелевых пленок, которыеиспользуются в качестве барьерных и токопроводящих слоев при металлизации труднодоступных участков поверхности полупроводников в технологии 3D TSV интегральных схем. Различными методами (электронно-микроскопическое исследование и др.) получены новые данные о влиянии различных активаторов (палладиевый, медный), солей редкоземельных металлов (лантан, висмут) на процессы образования и роста зародышей новой фазы (Ni-P), а также на состав, структуру и свойства пленок никель-фосфор, формирующихся из раствора химического никелирования на подложках различной природы (кремний, стекло, ITO). ISBN:9783659113093 Издательство: "LAP Lambert Academic Publishing" (2014)
ISBN: 9783659113093 |
См. также в других словарях:
Список участников группы «Аквариум» — Аквариум советская и российская рок группа, одна из старейших ныне действующих российских рок групп. Состав участников за 40 лет существования группы неоднократно менялся, и только лидер и идейный вдохновитель группы Борис Гребенщиков… … Википедия
