Книга: Красников Г.Я. «Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов 2-е изд. испр.»
|
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронныхСБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - науровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов. Издательство: "Техносфера" (2011)
ISBN: 978-5-94836-289-2 |
См. также в других словарях:
Красников — Красников русская фамилия. Известные носители Красников, Александр Николаевич российский религиовед. Красников, Геннадий Николаевич русский поэт. Красников, Геннадий Яковлевич академик РАН. Красников, Николай… … Википедия
Красников — КРАСАВИН КРАСАВКИН КРАСАВЧИКОВ КРАСИВОВ КРАСИВЫЙ КРАСИКОВ КРАСИН КРАСНОВ КРАСНЫЙ КРАСУЛИН КРАСУХИН КРАСЮК КРАСНЫХ КРАСНЕВИЧ КРАСНЕНЬКИЙ КРАСАВЦЕВ КРАСНЕНКО КРАСНИКОВ КРАСНЯК КРАСОВ КРАСОВСКИЙ КРАСЬКО КРАСЮКОВ КРАСЕНЬКОВ КРАСИЧКОВ КРАСНОВИДОВ… … Русские фамилии
Красников, Николай Григорьевич — Красников Николай Григорьевич Род деятельности: Глава администрации наукограда Кольцово Дата рождения: 1955 год(1955) Место рождения … Википедия
Красников, Дмитрий Федорович — Депутат Государственной Думы Федерального Собрания РФ второго созыва (1995 1999), был членом Совета Государственной Думы, членом Аграрной депутатской группы, председателем Комитета по Регламенту и организации работы Государственной Думы; родился… … Большая биографическая энциклопедия
КРАСНИКОВ ВАЛЕРИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ — Годы жизни 28.10.1922 21.10.2004 Родился в г. Тамбове. Окончил Московский технологический институт пищевой промышленности (1951). Доктор технических наук (1968), профессор (1968), академик ВАСХНИЛ (1988). Видный ученый в области процессов и… … Биографическая энциклопедия РАСХН, ВАСХНИЛ
Красников, Александр Николаевич — В Википедии есть статьи о других людях с такой фамилией, см. Красников. Красников Александр Николаевич Дата рождения: 10 декабря 1949(1949 12 10) Место рождения: Форос, Крымская область, РСФСР Дата смерти … Википедия
