Книга: Королёв М. А., Крупкина Т. Ю., Шевяков В. И., Путря М. Г. «Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем»

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.

Содержание:

Введение...... 8 Раздел 1. Основные маршруты изготовления кремниевых интегральных схем...... 11 1. Дополнительные области ИС...... 15 2. Особенности масштабированной технологии изготовления ИС...... 66 3. Примеры маршрутов изготовления ИС...... 74 4. Современное состояние технологии многоуровневой системы металлизации кремниевых ИС...... 102 Раздел 2. Плазменные методы формирования трехмерных структур СБИС...... 127 1. Современные проблемы разработки процессов плазменного травления для УБИС...... 128 2. Элементарные процессы, протекающие в плазме и плазменных системах различного типа...... 133 3. Специфика плазменного оборудования, используемого в субмикронной технологии...... 161 4. Базовые технологические процессы плазменного формирования трехмерных микроструктур...... 168 5. Глубокое анизотропное плазменное травление кремния для формирования микроэлектромеханических систем...... 223 6. Методология разработки процессов формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами...... 235 Раздел 3. Методы приборно-технологического моделирования в проектировании маршрутов и элементов СБИС...... 249 1. Системы приборно-технологического моделирования...... 250 2. Программные средства приборно-технологического моделирования как основа системы виртуального производства...... 289 3. Примеры использования методов приборно-технологического моделирования...... 325 4. Моделирование базовых технологических маршрутов...... 375 Литература...... 410

Издательство: "БИНОМ. Лаборатория знаний" (2015)

ISBN: 9785996325689