Книга: Берлин Е.В., Сейдман Л.А. «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением: Справочное руководство / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - (Мир материалов и технологий).»
|
Издательство: "Техносфера" (2014) Формат: твердый, 256 стр.
ISBN: 978-5-94836-369-1 |
