Книга: Ильин А.А., Плихунов В.В., Петров Л.М., Спектор В.С. «Вакуумная ионно-плазменная обработка: Учебное пособие / А. А. Ильин, В. В. Плихунов, Л. М. Петров, В. С. Спектор. - ил. - (Современные технологии: Магистратура)., (Гриф)»
|
Издательство: "Инфра-М" (2017) Формат: твердый, 160 стр.
ISBN: 978-5-98281-366-4 |
