Книга: Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. «Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей»

Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.

Содержание:

ФОТОЛИТОГРАФИЯ...... 3 Основные термины...... 4 Фоторезисты...... 5 Основные технологические операции...... 7 Фотошаблоны...... 21 Фотолитографическое оборудование...... 23 Чистота воздушной среды, микроклимат, специальные условия производства...... 25 ОПТИЧЕСКИЕ ШКАЛЫ...... 28 Виды оптических шкал...... 28 Подложки оптических шкал...... 30 Маскирующие покрытия...... 32 Фотолитографические технологии...... 32 Способы изготовления фотошаблонов оптических шкал...... 39 ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ, ТРЕБУЮЩИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИИ НА ПОВЕРХНОСТИ...... 43 Металлизированные зеркальные покрытия...... 43 Диэлектрические зеркальные покрытия...... 45 Использование фотолитографии при изготовлении других деталей...... 45 ЗАКЛЮЧЕНИЕ...... 47 БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК...... 48

Издательство: "Издательство Уральского университета" (2014)

ISBN: 9785799611101